半导体微量光子检测显微镜

半导体微量光子检测显微镜

产品特征参数

软件图像处理功能

8寸高压手动气浮探针台

紫外、可见光、红外显微光学系统

2倍、5倍、10倍、20倍与50倍红外物镜

400 -1000 nm 或900-1700 nm响应波长

支持3000 V高压偏置

相机与源表的一体化控制程序

应用方向

GaN与SiC 基功率器件

的漏电“热点"定位

GaN基LEDs与结型探测

器的漏电“热点"定位

Si基MOSFET与IGBT等功

率器件的漏电失效“热

点"定位

GaAs基激光器光分布与

漏电“热点"定位

常规的器件的静态电学

参数测试。

相关系列有关于芯片失效与缺陷检测都可以联系我司，可看样机测试